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Mikroaktorbauteil und Verfahren zur Herstellung

Microactuator element has tilting actuator suspended from holder substrate, flexural and torsional elements, cavity, metal frame and electrodes.
 
: Hofmann, U.; Witt, M.; Wagner, B.; Muehlmann, S.

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DE 1999-19941363 A: 19990831
DE 1999-19941363 A: 19990831
EP 2000-117353 A: 20000822
EP 1081528 B1: 20031022
DE 19941363 B4: 20060608
B81B0003
G02B0026
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikroaktorbauteil sowie ein Verfahren zur Herstellung, insbesondere fuer den Einsatz in einem Mikrospiegelscanner. Das erfindungsgemaesse Mikroaktorbauteil besteht aus einem kippbaren Aktorelement, das ueber ein oder mehrere Biege- und/oder Torsionselemente an einem Traegersubstrat aufgehaengt ist und eine laterale Ausdehnung von zumindest 250 ?>m aufweist. Die ein oder mehreren Biege- und/oder Torsionselemente sind aus einem elastischen Metall wie Nickel gebildet, das galvanisch auf dem Traegersubstrat abgeschieden wurde. Das Mikroakturbauteil hat den Vorteil einer erhoehten Vibrations- und Schockbelastbarkeit bei unveraendert kompakter Bauweise.

 

EP 1081528 A UPAB: 20010502 NOVELTY - A tilting actuator element (3) is suspended from a holder-substrate (1) by means of one or more flexural and or torsional elements (4) formed from an elastic metal. The actuator element is a semiconductor or metal plate positioned in a cavity (2) in the substrate and is enclosed on the surface of the substrate by an open or closed metal frame (5). Electrodes are staggered in height in relation to the actuator element near the cavity. USE - Microactuator component especially for a micro mirror scanner. ADVANTAGE - The compact microactuator is resistant to vibrations and shock, and can act as mirror for the continuous deflection of rays from coherent light.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-67532.html