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Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung von Gegenstaenden bei hoher Temperatur sowie Verwendung

Apparatus for coating an object, e.g. turbine blades comprises an inner chamber made of a heat-resistant material of low heat conductivity arranged in a vacuum chamber and a sputtering source.
 
: Jung, T.

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DE 1999-19958643 A: 19991206
DE 1999-19958643 A: 19991206
WO 2000-EP12213 A: 20001205
DE 19958643 C1: 20010510
C23C0014
C23C0014
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beschichtung eines Gegenstandes (3) bei hoher Temperatur mittels Kathodenzerstaeubung mit einer Vakuumkammer (1) und einer Sputterquelle (5), wobei die Sputterquelle eine Zerstaeubungskathode (6) aufweist. Innerhalb der Vakuumkammer ist eine Innenkammer (2) aus einem hitzebestaendigen Material angeordnet, die die Zerstaeubungskathode (6) und den zu beschichtenden Gegenstand (3) in geringem Abstand vollstaendig umschliesst und die mindestens eine Oeffnung (10, 11) zum Einlass eines Gases und mindestens eine Oeffnung (14) zum Auslass eines Gases aufweist.

 

DE 19958643 C UPAB: 20010522 NOVELTY - Apparatus for coating an object (3) comprises a vacuum chamber (1) and a sputtering source (5) having a sputtering cathode (6). An inner chamber (2) made of a heat-resistant material of low heat conductivity is arranged in the vacuum chamber and completely surrounds the cathode and the object. The inner chamber has an opening (10, 11) for introducing a gas and an opening (14) for removing a gas. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a process for coating an object. Preferred Features: The material of the inner chamber is made of graphite and/or a ceramic. USE - For coating gas turbine blades with heat insulating layers, corrosion protection layers and/or high temperature superconductor layers. ADVANTAGE - The substrate can be easily, effectively and uniformly heated.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-67462.html