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Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung und/oder Oberflaechenmodifizierung von Gegenstaenden im Vakuum mittels eines Plasmas

Plasma treatment of objects in vacuum involves using a box-like structure which forms a vacuum chamber or can be introduced into a vacuum chamber.
 
: Jung, T.

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DE 1998-19834733 A: 19980731
DE 1998-19834733 A: 19980731
WO 1999-EP5409 A: 19990728
EP 1999-942801 AW: 19990728
DE 19834733 C1: 20000427
EP 1114201 B1: 20040128
C23C0014
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Beschichtung und/oder Oberflaechenmodifizierung von Gegenstaenden im Vakuum unter Verwendung eines Plasmas, wobei die Moeglichkeit besteht, vielgestaltige Gegenstaende allseitig zu beschichten bzw. zu modifizieren, ohne dass ein grosser anlagentechnischer bzw. verfahrenstechnischer Aufwand erforderlich sind. Erfindungsgemaess wird ein kastenfoermiges Gebilde (1) aus einem elektrisch leitenden Material verwendet, dass eine Vakuumkammer bildet oder in eine Vakuumkammer einfuehrbar ist. In das kastenfoermige Gebildet koennen Gegenstaende (2) durch mindestens eine verschliessbare Oeffnung (8) in einem Abstand zur inneren Wandung eingesetzt werden. Ausserdem sind mindestens eine Oeffnung (3) zur Zu- und mindestens eine Oeffnung (4) zur Abfuhr von Arbeitsgas sowie eine Oeffnung (6, 6') zur Einfuehrung von Energie fuer die Erzeugung einer Glimmentladung vorhanden und das kastenfoermige Gebilde (1) weist ein gegenueber dem mit der Glimmentladung erzeugten Plasma elektrisch negatives Potential auf.

 

WO 200008227 A UPAB: 20000405 NOVELTY - Objects (2) to be treated are introduced through at least one closable opening (8) into the box-like structure (1) made of an electrically conductive material (1) and provided with openings (3, 4) for supply and removal of working gases, and an opening (6') for introduction of energy for generation of glow discharge. DETAILED DESCRIPTION - The structure has negative electric potential relative to the plasma produced by glow discharge. This potential is adjusted so that modification and/or coating of the surfaces of the objects (2) take place by material removal from the wall inner surface of the structure (1). USE - For coating of surfaces and/or modification of near-surface regions of objects in vacuum. ADVANTAGE - Objects with various shapes can be effectively coated on all sides (including undercut surface regions) at low plant installation and operating costs.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-63419.html