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Mikrosystem und Verfahren zur Herstellung

Microsystem with sensing and/or actuation and/or optical components carried only by functionally mediating elements necessary for sensing and/or actuating and/or optical functions.
 
: Pannkoke, K.; Cluever, M.; Gesang, T.

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DE 1998-19829202 A: 19980630
DE 1998-19829202 A: 19980630
WO 1999-DE1872 A: 19990624
DE 19829202 A1: 20000113
H01L0049
H01L0041
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ISC ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Mikrosystem sowie ein Verfahren zur Herstellung desselben. Das erfindungsgemaesse Mikrosystem enthaelt als Hauptelement sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksame Bestandteile, die in Form von kleinvolumigen Komponenten, beispielsweise als Fasern oder Pulver, vorliegen. Unter kleinvolumig ist hierbei insbesondere zu verstehen, dass diese Komponenten zumindest in einer Dimension Abmessungen von weniger als 200 .mu.m aufweisen. Die Komponenten werden erfindungsgemaess ohne ein Substrat allein von ihren funktionsvermittelnden Elementen getragen. Die funktionsvermittelnden Elemente sind fuer die sensorische und/oder aktorische und/oder optische Funktion der Komponenten notwendig. Durch Verzicht auf ein Substrat und die Verwendung der funktionsvermittelnden Elemente in einer Doppelfunktion, d. h. zur Erzeugung der mechanischen Stabilitaet des Systems und zur beispielsweise elektrischen Ansteuerung der Komponenten, koennen das Volumen und die Steifigkeit des Systems erheblich reduziert werden.

 

WO 200002264 A UPAB: 20000308 NOVELTY - The Microsystem has sensing and/or actuation and/or optical components in the form of small vol. components. The components are carried only by functionally mediating elements (1) that are necessary for the sensing and/or actuating and/or optical functions of the components. The components can be thin fibres of diameter less than 100 microns. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a composite system and a method of producing a microsystem. USE - For sensing and/or actuating optical function components. ADVANTAGE - Has low stiffness, enabling structurally conformed integration into a composite system.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-63390.html