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Title
Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung metallischer Koerper in einem Plasma
Date Issued
1999
Author(s)
Hoeing, T.
Matthee, T.
Klages, C.
Patent No
1998-19826160
Abstract
Bei einem Verfahren zur Reinigung metallischer Koerper in einem Plasma werden die zu reinigenden metallischen Koerper in einer Vakuumkammer gebracht. In der Vakuumkammer wird eine Inertgasatmosphaere mit einem Inertgasdruck von weniger als 10 Pa erzeugt. In der Vakuumkammer wird ein die zu reinigenden Koerper ganz oder weitgehend umschliessendes Plasma gezuendet. Ein negatives elektrisches Potential wird an den zu reinigenden Koerpern gegenueber dem Plasmapotential angelegt. Die durch das Potential zum zu reinigenden Koerper hin beschleunigten Inertgasionen entfernen die Verunreinigungen durch Abtragen der Oberflaeche des Koerpers.
DE 19826160 A UPAB: 20000203 NOVELTY - The metal objects to be cleaned (40) are placed in a vacuum chamber (10) in which inert gas, preferably argon, has set up a pressure of less than 10 Pa whereupon plasma partly or totally enrobing the objects is ignited. Negative potential of minus 500 V is applied to the objects (40) opposite to the ptoential of the plasma so that the inert gas ions accelerated towards the objects necessarily remove the impurities from the surface of the objects. The argon can be introduced as a splutter gas and the objects have curves of equal radius of a few mm. In a variant, metal objects are placed as bulk charge in a nonconducting rotating container placed in a vacuum chamber of inert gas using negative potential connections and an object holder so placed as to enrobe the objects partly or totally with the plasma etc. The container can both oscillate and shake etc. USE - Metal cleaning. ADVANTAGE - The objects can be cleaned free of soiling not normally removed by plasma treatment by an environmentally acceptable process free from attack by aggressive chemicals.
Language
de
Patenprio
DE 1998-19826160 A: 19980612