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1997
Conference Paper
Titel
Beschichtungen für verschleiß- und korrosionsbeanspruchte Bauteile und Formen in der Kunststoffverarbeitung
Titel Supplements
Teilvorhaben Abscheidung von Hartstoffschichten mit dem PACVD-Verfahren
Verbundprojekt
Alternative
Abscheidung von Hartstoffschichten mit dem PACVD-Verfahrung
Abstract
Mittels der PACVD-Technik wurden Probenkörper aus den Werkstoffen 1.8550 und 1.2379 in einem Arbeitsablauf ohne Prozeßunterbrechung bei Temperaturen unter 550øC zunächst nitriert und anschließend mit TiN, TiC-, und TiCN-Schichten versehen. Die Schichten wurden auf Härte und Verschleißbeständigkeit untersucht. Die Abscheidung von TiN-, TiCN- und TiC auf Schneckenlementen wurde probeweise durchgeführt. Die Verbesserung der Gleichmäßigkeit der Beschichtungen an den komplex geformten Schneckenbauteilen war wesentlicher Bestandteil der Arbeiten. Für die Herstellung von Aluminiumdampf wurde ein Verdampfer entwickelt. Umfangreiche Maßnahmen zur Arbeits- und Umweltsicherheit beim PACVD-Prozeß wurden durchgeführt.