Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Das Beschichten großer Flächen mit hohen Raten

 
: Schiller, S.

Spektrum der Wissenschaft (1996), Nr.4, S.94-96
ISSN: 0170-2971
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer FEP ()
Beschichten

Abstract
Eine bewährte Oberflächentechnik ist die physikalische Dampfphasen-Abscheidung, für die sich auch im Deutschen der Begriff PVD-Technik (nach englisch physical vapor deposition) eingebürgert hat. Im Unterschied zu anderen chemischen Verfahren liegt das Beschichtungsmaterial hier nicht bereits gasförmig, sondern als Festkörper vor; es muß also zunächst durch Verdampfen oder Zerstäuben mobilisiert werden, damit es sich dann auf dem Substrat niederschlagen kann. Bei vielen speziellen Anwendungen in Optik und Elektronik erweisen sich die großen Potenzen der PVD-Technik leicht. Sind jedoch große Flächen in Mengen zu beschichten, steht sie in Konkurrenz zu anderen Verfahren; sie wird immer nur dann bevorzugt werden, wenn hervorragende Gebrauchseigenschaften der Produkte besonders wirtschaftlich zu erzielen sind.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-6152.html