Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Das Beschichten großer Flächen mit hohen Raten

 
: Schiller, S.

Schiller, S.; Arnold, A.; Wünsche, M. ; Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik -FEP-, Dresden:
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Jahresbericht 1996
Dresden: FEP, 1997
S.18-22 : Ill.
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer FEP ()
Beschichten

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-6151.html