Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Untersuchung und Entwicklung der CMOS-Technologie auf vergrabenem Isolator als einer neuen VLSI-Technologie. Berichtszeitraum 01.07.1987 - 31.09.1990. BMFT-Abschlußbericht 110620

 
: Abel, H.B.; Gassel, H.; Belz, J.; Burbach, G.; Vogt, H.; Debusmann, K.; Peter-Weidemann, J.; Redlich, S.; Götzen, R.

1990, 37 S.
Deutsch
Buch
Fraunhofer IMS ()
latch-up; SIMOX; SOI-Technologie; vergrabener Isolator

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-58436.html