Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Untersuchung des nichtlinearen Verhaltens piezoresistiver Niederdrucksensoren auf der Basis von Silizium

 
: Sandmaier, H.

München, 1988, 110 S.
München, TU, Diss., 1988
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Brückenschaltung; Eckenkompensation; elektrochemisches Ätzen; FEM; Nichtlinearität; Niederdrücksensor; piezoresistiver Effekt; Plattenberechnung; Schwachstelle; Zweistufenätzprozeß

Abstract
In der Arbeit wurden zur Reduzierung des Linearitaetsfehlers piezoresistiver Niederdrucksensoren unterschiedliche Plattengeometrien, der Piezowiderstandseffekt und die Brueckenschaltung eingehend untersucht. Ausgehend von den theoretisch und experimentell erhaltenen Ergebnissen wurde ein Drucksensor fuer einen Messbereich von 100 mbar mit einer Empfindlichkeit von 35 mV/V F.S.O. Der ueber die Festpunktmethode bestimmte Linearitaetsfehler ist kleiner als 0,1%. Vergleichbare Sensoren mit quadratischer, kreis- oder kreisringfoermiger Platte weisen im Niederpunktbereich eine erheblich kleinere Empfindlichkeit und einen deutlich hoeheren Linearitaetsfehler auf. (IFT)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-58418.html