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1998
Conference Proceeding
Titel
Smart Fabrication Verbund CIM 1998
Titel Supplements
Dritter Offener Workshop München, 29./30. Oktober 1998
Alternative
Neue Produktionskonzepte für die Halbleiterfertigung
Organisation
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Verlagsort
Stuttgart
Konferenz