Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Smart Fabrication Verbund CIM 1998

Dritter Offener Workshop München, 29./30. Oktober 1998
Neue Produktionskonzepte für die Halbleiterfertigung
 
: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart

Stuttgart, 1998, 78 S.
Workshop Smart Fabrication <3, 1998, München>
Deutsch
Tagungsband
Fraunhofer IPA ()
Anlagenplanung; CIM; Fabrik; Halbleiter; Halbleiterfertigung; Produktionskonzept

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-56695.html