Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Simulationswerkzeuge zum Design systemfähiger Mikrosensoren

 
: Sandmaier, H.

Berlin/West: VDE-Verlag, 1990, 170-175
Microsystem Technologies <1990>
ISBN: 3-8007-1729-8
Deutsch
Tagungsband
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
bossed diaphragm; Drucksensor; nonlinearity; piezoresistive effect; piezoresistiver Effekt; pressure sensor; simulation tool; Simulationswerkzeug; versteifte Platte

Abstract
Die Entwicklung zukünftiger Sensoren mit integrierter Signalverarbeitung erfordert den verstärkten Einsatz von Simulationsmethoden und bisher noch nicht entwickelter Werkzeuge. In diesem Beitrag wird ein Simulationstool zum Design piezoresistiver und kapazitiver Drucksensoren vorgestellt, das derzeit mit Hilfe einer Förderung des BMFT entwickelt wird. Mit diesem Tool kann für ein gewähltes Design nach der Eingabe der Kenngröße eines Sensors die druck- und temperaturabhängige Ausgangskennlinie ermittelt und optimiert werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-56651.html