Fraunhofer-Gesellschaft

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Baukastensystem Mikrosystemtechnik

Modulare Mikrosystemtechnik für den Maschinen- und Anlagenbau
Flexible design and production framework for microelectromechanical systems - Modular microsystem technology for machinery and plant manufacturing
 

WT. Werkstattstechnik 88 (1998), Nr.11/12, S.497-502
ISSN: 0340-4544
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Baukastensystem; Maschinenbau; MEMS; Micro Electro Mechanical Systems; Mikrosystem; Mikrosystemtechnik; modul

Abstract
Es wurde ein Baukastensystem für die Realisierung modularer Mikrosysteme, ausgerichtet auf die Forderungen des Maschinen- und Anlagenbaus, konzipiert. Die dazu notwendige Aufbau- und Verbindungstechnik wurde entwickelt und geprüft. Miniaturisierte intelligente Systeme wurden an maschinenbaurelevanten Beispielen demonstriert. A highly flexible, modular design and production framework for microelectromechanical systems, suitable for mid-scale production at reasonable costs, is presented. The modular framework consists of a manufacturer set and an application kit. It allows for considerable reduction of design and production expenditure whilst retaining maximum technical flexibility.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-5663.html