Fraunhofer-Gesellschaft

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Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen

 
: Klumpp, B.

Berlin: Springer, 1993, 107 S.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1993
IPA-IAO Forschung und Praxis, 182
ISBN: 0-387-57302-X
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IPA ()
Oberfläche; Partikelmessung; Partikelmeßtechnik; Partikelreinheit; Prüfung; Reinraum; Reinraumtechnik; technische Oberfläche; Teilchen

Abstract
In "Reinen Technologien" wie z. B. Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik, etc. wird die Forderung gestellt, eine Detektion der Partikelverunreinigung für produktumgebende technische Oberflächen in vergleichbarer Weise und in einem vertretbaren Zeitrahmen zu ermöglichen. Auf der Basis eines automatisierten optischen Mikroskops wird ein Beleuchtungs- und Detektionssystem sowie eine Bildverarbeitung und Auswertung zur Detektion von Partikeln auf stark strukturierten Oberflächen entwickelt. Durch das eingesetzte Streulichtdetektionsprinzip wird es aufgrund von optimalen Einstellparametern des Systems ermöglicht, Teilchengrößen schon ab ca. 1 fm bei 200 facher Vergrößerung und einer numerischen Apertur von 0,45 zu detektieren und vollautomatisch auszuzählen. Zum Einsatz der entwickelten Prüfeinrichtung wird eine Methode entwickelt, die auf den unterschiedlichsten Oberflächenmaterialien mit verschiedenen Oberflächenrauhigkeiten einen universellen Einsatz des Verfahrens gewährleistet. Die durch geführten Untersuchungen liefern eine Reihe grundsätzlicher Ergebnisse zum Einsatz des Verfahrens. Es werden dabei die Detektionsrandbedingungen und Kalibrierkurven für verschiedene Oberflächen aufgenommen. Die Eignung des Verfahrens zur direkten Untersuchung der Wirkung unterschiedlicher Reinigungsverfahren auf verschiedene Oberflächen sowie die grundsätzliche Eignung des Verfahrens für Untersuchungen zur Fertigungsüberwachung werden nachgewiesen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-55283.html