Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Prozeßtechnologie

 
: Schumicki, G.; Seegebrecht, P.

Berlin: Springer, 1991
Mikroelektronik
ISBN: 3-540-17670-5
Deutsch
Buch
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
CMOS-Technologie; Prozeßintegration; Prozeßtechnologie; Reinraumtechnik

Abstract
Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-55272.html