Fraunhofer-Gesellschaft

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Automatisierung in der Displayproduktion

Automation issues for flat panel production
 
: Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Dorner, J.

Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie -BMBF-, Bonn; Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. -DLR-:
Displaytechnologien in Deutschland - heute und morgen
Bonn, 1998
Konferenz Displaytechnologien in Deutschland <1998, Sankt Augustin>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Automatisierung; Buffer system; contamination control; Fertigungsplanung; Handhaben; Handhabungssystem; handling; information technology; Informationstechnik; Kontamination; production control; production planning; Produktionsregelung; Speichersystem; Steuerung; system; transport; transportsystem; Überwachung

Abstract
Die neuste Entwicklung der Flat Panel Produktion zu immer größeren Substratgeometrien, großen Stückzahlen, hoher Variantenvielfalt sowie kurze Durchlaufszeiten erfordert neue Automatisierungslösungen. Für die immer kleiner werdenden Strukturbreiten erfolgt die Produktion unter dem Einsatz von hochwertigen Reinräumen. Höchste Anforderungen bezüglich der Reinheit herrscht im sogenannten Fornt End-Bereich. Für diesen Produktionsabschnitt werden unterschiedliche Aspekte der Automatisierung im Hardware sowie auch im informationstechnischen Bereich sowie die zukünftigen Trends diskutiert.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-5462.html