Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Polysilicon thin films for sensor applications

Dünne Polysiliziumfilme für Sensorenanwendungen
 
: Obermeier, E.

European Physical Society -EPS-, Geneva:
12. European Solid State Device Research Conference 1982
München: EPS, 1982 (Europhysics conference abstracts 6F)
2 S.
European Solid State Device Research Conference (ESSDERC) <12, 1982, München>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Druckmessung; Polysilizium; Temperaturmessung

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-54573.html