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Mikromechanisch hergestellter Zerstäuber für kleine Flüssigkeitsmengen

	Erlangen, 1996, II, 89 S. : Ill. Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996

	Deutsch
	Dissertation
	Fraunhofer IIS B ( IISB) ()
	Mikromechanik; Siliciumbauelement; Ultraschallvernebelung; Zerstäuber