Fraunhofer-Gesellschaft

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Kapazitive Gassensoren mit Schichten aus Heteropolysiloxan

 
: Endres, H.-E.

München, 1990, 196 S.
München, Univ., Diss., 1990
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
adsorption; dielektrische Relaxation; gassensor; Heteropolysiloxan; Impedanzspektroskopie; Interdigitalkondensator; NH3; NO2; SO2

Abstract
Kapazitive Gassensoren (Interdigitalkondensatoren) mit einer sensitiven Beschichtung aus aminogruppenhaltigen Heteropolysiloxanen wurden untersucht. Für die dielektrischen Relaxation der adsorbierten Gasmoleküle und der Schicht wurde ein Modell erstellt und mit Impedanzspektroskopie untersucht. Die Geometrie der Elektroden der Interdigitalkondensatoren wurde variiert und optimiert. Ein Ergebnis sind kapazitive Gassensoren für SO2 (1-200vpm und 10-6000vpm) mit geringer Querempfindlichkeit und großer Reproduzierbarkeit.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-51520.html