Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Ausgewählte optische Verfahren zur Topographiebestimmung

 
: Höfler, H.

Zarm, H.:
Jahrbuch für Optik und Feinmechanik 1988
Berlin/West: Schiele und Schön, 1988 (Jahrbuch für Optik und Feinmechanik 35)
ISBN: 3-7949-0472-9
S.140-160 : Abb.,Lit.
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IPM ()
Formerfassung; Interferometrie; Moire-Verfahren; Profilometer(optisch); Rauhigkeitsmessung; Speckle-Verfahren; Streulichtverfahren

Abstract
Es werden einige Beispiele von Messverfahren beschrieben, die auf optischem Weg die Topografie von Oberflaechen erfassen. Die beschriebenen Rauhigkeitsmessverfahren sind Streulicht- und Speckle-Methoden sowie optische Profilometer, mit denen die Mikrotopografie der Oberflaechen entsprechend den mechanischen Abtastverfahren nachgezeichnet werden. Zur flaechenhaften Formerfassung der Oberflaechen dienen einerseits die Interferometrie und andererseits Moire-Verfahren, die jeweils in verschiedenen Anwendungsmoeglichkeiten beschrieben werden. (IPM)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-5040.html