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1988
Doctoral Thesis
Titel
Innentrennschleifen von einkristallinem Silizium
Abstract
Aufgabe dieser Arbeit ist es, durch eine systematische Analyse des Innentrennschleifens von einkristallinem Silizium prozeßtechnologische Grundlagenkenntnisse als Basis einer durchgreifenden Verfahrensoptimierung bereitzustellen. Mit dem Ziel gesteigerter Werkstückqualitäten bei wirtschaftlichen Bearbeitungszeiten auch für große Kristallabmessungen sollen daher sowohl für bestehende Fertigungseinrichtungen und -hilfsmittel Prozeßgestaltung und Prozeßführung optimiert als auch Wege zur Weiterentwicklung von Maschinen, Werkzeugen und Verfahren aufgezeigt werden.
ThesisNote
Aachen, TH, Diss., 1988
Language
German
Tags