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1997
Doctoral Thesis
Titel
Hochtemperaturtaugliche, analoge Schaltungskomponenten in SIMOX-Technologie
Titel Supplements
Als Ms. gedr.
Abstract
Hochtemperaturtaugliche Schaltungen und Systeme gewinnen in zunehmendem Maße an Bedeutung. Die wichtigsten Anwendungsgebiete finden sich in der Automobilelektronik im Bereich des Motormanagement, in der Luft- und Raumfahrt im Bereich der Triebwerksteuerung, in der Tiefbohrtechnik und in der industriellen Prozeßleittechnik. Die Betriebstemperaturen liegen hier in einem Bereich von etwa - 40 Grad C bis + 300 Grad C. Mit der SIMOX-Technologie ist es durch eine drastische Reduzierung der Leckströme und der Vermeidung des CMOS-typischen Latchup prinzipiell möglich, hochtemperaturtaugliche Schaltungen auf Siliziumsubstraten für diesen Temperaturbereich zu realisieren. Im Rahmen dieser Arbeit wurden die Eigenschaften der in der SIMOX-Technologie herstellbaren Bauelemente untersucht und optimiert. Durch geeignete Schaltungstechnik und Kompensationsverfahren wurde die Funktionsfähigkeit dieser Schaltungen bis zu Betriebstemperaturen oberhalb von 300 Grad C gewährleistet.
ThesisNote
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1997
Language
German