Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Entwicklung von Dünnfilm-Sensoren

 
: Obermeier, E.

Sensor '82. Konferenzunterlagen. Bd.2
Essen, 1982
18 S. : Abb., Tab., Lit.
Sensor <1982, Essen>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Druckmessung; Polysilizium; Temperaturmessung

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-46633.html