Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Zweistrahl-Interferometer

Two-beam interferometer for measuring ultra precision surfaces - has mutually inclined partially mirrored surfaces bounding output vol, lens and aperture matched to partial beam pair for separation
 
: Koerner, K.; Ludovit, N.; Puder, J.; Stadthaus, W.; Dolkeit, T.

:
Frontpage ()

DD 1989-327676 A: 19890417
DE 1990-4012503 A: 19900412
DE 4012503 A1: 19901018
G01B0009
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPK ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Zweistrahl-Interferometer zur Messung der Gestalt insbesondere ultrapraezisionsbearbeiteter Oberflaechen, nach dem Interferenzprinzip. Erfindungsgemaess begrenzen am Ausgang eines Interferometers mit einer zur Referenzstrahlenbuendelachse geneigten Prueflingsstrahlenbuendelachse zwei teilverspiegelte Flaechen einen Raum, die im Winkelbereich < 1 Grad keilfoermig zueinander angeordnet sind, wobei der Neigungswinkel der Buendelachsen und der Winkel zwischen den beiden teilverspiegelten Flaechen, die die Aussenflaechen eines quer verschiebbaren Glaskeiles bilden koennen, so aufeinander abgestimmt sind, dass zwischen der zweiten teilverspiegelten Flaeche und einem Objektiv durch eine Zickzack-Reflexion zwischen den beiden teilverspiegelten Flaechen und durch eine Transmission dieser von jeweils einem Teilstrahlenbuendel, Teilstrahlenbuendel-Paare bestehen, die genau aus je einem Teilreferenz-Strahlenbuendel und einem Teilprueflings-Strahlenbuendel gebildet sind.D urch Verschiebung des Glaskeiles wird es moeglich, die Phase im Interferogramm definiert zu verstellen. Durch eine geeignete Teilverspiegelung des Glaskeiles wird ein hoher Kontrast im Interferogramm erreicht.

 

DE 4012503 A UPAB: 19930928 The two-beam interferometer contains test object and partially reflecting reference surfaces and a monochromatic light source. Input, reference (R) and test (P) beams are used. The test beam is inclined w.r.t. the reference beam. Two partially mirrored surfaces (8,9) at an angle less than 1 Grad bound an output vol. Partial beam pairs are set up between the second partially mirrored surface and a lens (10). The width of an aperture (11) at the lens focal plane corresp. to the separation of the beam pair foci. USE/ADVANTAGE - For measuring surfaces machined with ultra precision. Improved measurement accuracy. 1/4

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-42646.html