Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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X-ray investigations of boron- and germanium doped silicon epitaxial layers

 
: Herzog, H.-J.; Csepregi, L.; Seidel, H.

Journal of the Electrochemical Society 131 (1984), S.2969-2974
ISSN: 0013-4651
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ISIT ()
Epitaxie; Lithographie; Röntgenstrahlen

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-42201.html