Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Anwendung organischer Resistmaterialien in der Synchrotronlithographie

 
: Heuberger, A.

Gesellschaft Deutscher Chemiker -GDCh-, Frankfurt/Main:
Polymere und Licht
Frankfurt/Main, 1990
Polymere und Licht <1990, Bad Nauheim>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-4207.html