Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Anwendung in der Praxis - Abnahme von Reinräumen

Application of measurement procedures and devices to qualify cleanrooms
 
: Schließer, J.

Dorner, J. ; Technische Akademie Esslingen -TAE-:
Produzieren unter reinen Bedingungen: Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends : Lehrgang, 17. März 1998, Ostfildern
Esslingen: Technische Akademie Esslingen, 1998
Lehrgang Produzieren unter Reinen Bedingungen <1998, Ostfildern>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Abnahmeprüfung; Airflow Pattern; cleanroom; Leckagetest; particle measurement; Partikelmeßtechnik; Reinraum; Reinraumabnahme; Reinraumklasse; Strömungsform; VDI Richtlinie 2083

Abstract
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erfordern die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden unabhängig von ihrem Einsatzgebiet flächenmäßig in verschiedensten Größen erstellt. Das Spektrum reicht von der sogenannten Laminar-Flow-Box bis zum Großreinraum mit einigen tausend Quadratmetern. Allen Reinraumanlagen ist gemein, daß nach der Inbetriebnahme zum Nachweis der spezifizierten Qualität Abnahmemessungen durchgeführt werden müssen. Im vorliegenden Beitrag wird auf die Vorgehensweisen der Abnahmemessungen eingegangen, die sich weitgehend an der VDI-Richtlinie 2083, Blatt 3 orientieren. Weitere abnahmespezifische Richtlinien und Normen werden auszugsweise mit einbezogen. Die Abnahme eines Reinraumes ist prinzipiell ein formaler Akt, dem üblicherweise Abnahmemessungen vorangestellt werden. Mit Hilfe von Messungen muß der Reinraumhersteller gegenüber dem Nutzer nachweisen, daß er alle Spezi fikationen des Reinraumes unter den vereinbarten Betriebsbedingungen erfüllt. Um Abnahmemessungen druchzuführen, müssen Umfang und Art der Messungen zwischen Betreiber und Reinraumhersteller vereinbart werden. Hierbei gilt es auch, die Betriebsart des Reinraumes, die nach Blatt 1 der VDI-Richtlinie 2083 definiert ist, für die Abnahme festzuschreiben. Die Betriebsarten beschränken sich hierbei auf drei Zustände.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-4204.html