Fraunhofer-Gesellschaft

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Wirtschaftliches Reinraumkonzept

 
: Fissan, H.; Stamm, W.; Bussing, H.; Kück, H.

Reinraumtechnik 5 (1991), Nr.5, S.14-20
ISSN: 0931-9190
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IMS ()
cleanroom; cleanroom cleanliness; cleanroom concept; economy of operation; laser particle counting; Laserpartikelzählung; Oberflächenpartikelzählung; particle concentration; particle deposition; Partikelanzahlkonzentration; Partikeldeposition; Reinraum; Reinraumtechnisches Konzept; surface scanning; Wirtschaftlichkeit; Witness-Wafer

Abstract
Vergleichsweise niedrige Invesitions- und Betriebskosten ermöglicht das beim Bau eines Reinraumes im Fraunhofer Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme in Duisburg verfolgte Konzept. Im Betrieb wurde der Reinraum durch Messung der Partikelanzahlkonzentration in der Raumluft und der Partikeldeposition auf Witness-Wafern evaluiert. Die Partikelanzahlkonzentrationsmessungen ergaben für die Arbeitsbereiche mit Verdrängungsströmung für die Reinraumklasse 10 und für die Bereiche mit Mischlüftung die Reinraumklasse 100 und besser. Diese Ergebnisse werden durch die Messung der Deposition von Partikeln größer als 1,0 fm auf Witness-Wafern gestützt. Im Servicebereich wird die Reinraumklasse 1000 bis 10000 erreicht. Die im Betrieb vorgefundenen Reinraumklassen sind damit um ein bis zwei Größenordnungen besser, als man bei den verwendeten niedrigen Luftgeschwindigkeiten bzw. Luftwechselraten nach dem Stand der Technik erwarten würde.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-41964.html