Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Anwendung des Lasers zur Herstellung neuer Strukturen für die Mikroelektronik.

New structures for microelectronics by laser annealing
 
: Vogt, H.; Zimmer, G.

Laser und Optoelektronik 18 (1986), Nr.1, S.49-54 : Abb.,Lit.
ISSN: 0722-9003
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IMS ()
Anwendung; Herstellung; laser; Mikroelektronik; Struktur

Abstract
Es wird ein Ueberblick gegeben ueber die thermische Behandlung vom Silizium mit Laserlicht zur Aktivierung von implantierten Ionen und zur Rekristallisierung von abgeschiedenen Siliziumschichten. (IMS)

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-4195.html