Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Die Anwendung der Plasmamassenspektrometrie beim Plasmaaetzen

 
: Eisele, K.M.

Vakuum-Technik 32 (1982), Nr.2, S.48-52 : Abb.,Lit.
ISSN: 0042-2266
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IAF ()
Glimmentladung; Kathodenzerstäubung; Massenspektrometrie; plasma; plasmaaetzen

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-4191.html