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Die Anwendung der Plasmamassenspektrometrie beim Plasmaaetzen
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1982
Journal Article
Titel
Die Anwendung der Plasmamassenspektrometrie beim Plasmaaetzen
Author(s)
Eisele, K.M.
Zeitschrift
Vakuum-Technik
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Tags
Glimmentladung
Kathodenzerstäubung
Massenspektrometrie
plasma
plasmaaetzen