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Konferenzschrift
Zur Anwendbarkeit festkörpermechanischer Modelle im Bereich der Mikroelektronik
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1993
Conference Paper
Titel
Zur Anwendbarkeit festkörpermechanischer Modelle im Bereich der Mikroelektronik
Author(s)
Michel, B.
Winkler, T.
Hauptwerk
Wissenschaftliche Jahrestagung der Gesellschaft für Angewandte Mathematik und Mechanik '93. Proceedings
Konferenz
Gesellschaft für Angewandte Mathematik und Mechanik (Jahrestagung) 1993
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM