Options
1999
Journal Article
Titel
Antrieb für mikromechanische Scannerspiegel
Abstract
Eine neuartige Elektrodenkonfiguration für den Antrieb mikromechanischer Scannerspiegel ermöglicht große Ablenkwinkel. Auch eine zweidimensionale Ablenkung ist mit dem Prinzip möglich, wie erste Ergebnisse zeigen.
Language
German