Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Antrieb für mikromechanische Scannerspiegel

 
: Schenk, H.; Dürr, P.; Sobe, U.

Elektronik 48 (1999), Nr.24, S.54-58
ISSN: 0013-5658
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
Aktuator; Elektrostatischer Antrieb; Mikromechanik; Scannerspiegel

Abstract
Eine neuartige Elektrodenkonfiguration für den Antrieb mikromechanischer Scannerspiegel ermöglicht große Ablenkwinkel. Auch eine zweidimensionale Ablenkung ist mit dem Prinzip möglich, wie erste Ergebnisse zeigen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-4163.html