Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Vorrichtung zum Gasflusssputtern

 
: Jung, T.

:
Frontpage ()

DE 1992-4210125 A: 19920327
DE 1992-4210125 A: 19920327
DE 4210125 C2: 19960201
H05H0001
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-40699.html