Options
Title
Vorrichtung zum Auftragen von Materialien, insbesondere amorphen wasserstoffhaltigen Kohlenstoffs
Date Issued
1985
Author(s)
Bubenzer, A.
Pohl, F.
Dischler, B.
Patent No
1983-3336652
Abstract
Bei einer Vorrichtung zum Auftragen harter Kohlenstoffschichten durch Hochfrequenzplasmaabscheidung wird die das zu beschichtende Substrat (19) tragende Elektrode (5) mit einer Quarzabdeckung (22) abgedeckt, die den Abschirmspalt (21) zwischen der Elektrode (5) und der diese teilweise umgebenden Abschirmung (17) ueberbrueckt. Zur Herstellung einer galvanischen Verbindung mit der Oberseite der Elektrode (5) ist der mittelere Bereich (26) der Quarzabdeckung (22) aus einer elektrisch leitenden Kohlenstoffmodifikation hergestellt.
Language
de
Patenprio
DE 1983-3336652 A: 19831008