English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Patente
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolettstrahlung und weicher Roentgenstrahlung aus einer Gasentladung
Details
Export
Statistics
Options
Title
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolettstrahlung und weicher Roentgenstrahlung aus einer Gasentladung
Date Issued
2002
Author(s)
Lebert, R.
Bergmann, Klaus
Schriever, G.
Neff, W.
Patent No
1997-19753696
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19753696A
Patenprio
DE 1997-19753696 A: 19971203