Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Anodic bonding with sputtered Pyrex glass

 
: Drost, A.; Scherbaum, S.; Klink, G.

Michel, B.; Winkler, T. ; Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Berlin:
Micro Materials. Micro Mat '97. Proceedings : April 16 - 18, 1997, Berlin, Germany
Berlin: DVM, 1997
ISBN: 3-932434-05-6
S.933-937
Micro Materials (Micro Mat) <2, 1997, Berlin>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-4036.html