Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Annealing of boron-implanted silicon using a CW CO2-laser.

Ausheilung von Bor implantiertem Silizium mittels eines CW CO2 Lasers
 

Physica status solidi. A 63 (1981), S.547-555 : Abb.,Lit.
ISSN: 0031-8965
ISSN: 1862-6300
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
annealing; Bor; implantation; laser; Rekristallisation; Silizium

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-4031.html