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Title
Verfahren zur Oberflaechenbehandlung eines Quarzglassubstrates und dessen Anwendung
Date Issued
1991
Author(s)
Brandt, G.
Patent No
1984-3403378
Abstract
Bei einem Verfahren zur Oberflaechenbehandlung eines Quarzglassubstrates wird eine mechanisch, thermisch und chemisch resistente transparente Mullitschicht erzeugt, indem zunaechst metallisches Aluminium auf die Quarzglasoberflaeche aufgetragen wird, anschliessend eine thermische Oxidation des Aluminiums zu Aluminiumoxid bei einer ueber 600GradC liegenden Temperatur an Luft erfolgt und schliesslich bei einer Temperatur von wenigstens 1200GradC eine Umwandlung der Aluminiumoxidschicht zu Mullit durchgefuehrt wird.
Language
de
Patenprio
DE 1984-3403378 A: 19840201