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Patente
Verfahren zur Herstellung von Siliciumschichten
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Title
Verfahren zur Herstellung von Siliciumschichten
Date Issued
1978
Author(s)
Sigmund, H.
Patent No
1976-2621145
Language
de
Institute
IFT
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=2621145A
Patenprio
DE 1976-2621145 A: 19760513