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Patente
Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen auf festen Koerpern
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Title
Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen auf festen Koerpern
Date Issued
1982
Author(s)
Fritzsche, C.
Patent No
1980-3015034
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=3015034A
Patenprio
DE 1980-3015034 A: 19800418