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Verfahren zur Herstellung elektrisch leitender Schichten in isolierenden Materialien mittels indirekter Implantation
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Title
Verfahren zur Herstellung elektrisch leitender Schichten in isolierenden Materialien mittels indirekter Implantation
Date Issued
1978
Author(s)
Fritzsche, C.
Patent No
1976-2624859
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=2624859A
Patenprio
DE 1976-2624859 A: 19760603