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Patente
VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG DUENNER SCHICHTEN MITTELS LASERIMPULS-GASPHASENABSCHEIDUNG (LPVD).
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Title
VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG DUENNER SCHICHTEN MITTELS LASERIMPULS-GASPHASENABSCHEIDUNG (LPVD).
Date Issued
1994
Author(s)
Mai, H.
Dietsch, R.
Schubert, K.
Patent No
1990-342456
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=EP&NR=912151A
Patenprio
DD 1990-342456 A: 19900703