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Verfahren zum beruehrungslosen Messen von Spannungen innerhalb von integrierten Schaltungen

Process for the contactless measurement of voltages within integrated circuits
 
: Lackmann, R.

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DE 1989-3922204 A: 19890706
DE 1989-3922204 A: 19890706
DE 3922204 C1: 19900510
G01R0031
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IMS ()

Abstract
Bei einem Verfahren zum beruehrungslosen Messen von Spannungen innerhalb von integrierten Schaltungen mittels optischer Erfassung von feldabhaengigen Teilchenausrichtungen in einem Fluessigkristall wird eine Erfassung von Spannungen auch eng benachbarter Schaltungsstrukturen trotz optischer Erfassbarkeit von wenigstens zwei verschiedenen Spannungsbereichen innerhalb der integrierten Schaltung dadurch erreicht, dass eine ein zeitlich im wesentlichen konstantes Potential aufweisende Aequipotentialflaeche in einem bestimmten Abstand zu der integrierten Schaltung erzeugt wird.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-38778.html