Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Analytical model for phosphorus large angle tilted implantation

 

Ryssel, H.; Pichler, P.:
6th International Conference on Simulation of Semiconductor Devices and Processes. SISDEP '95. Proceedings
Wien: Springer, 1995 (Simulation of semiconductor devices and processes 6)
ISBN: 3-211-82736-6
S.488
International Conference on Simulation of Semiconductor Devices and Processes (SISDEP) <6, 1995, Erlangen>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-3872.html