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Verbundprojekt: Vermeidung von Schmierstoffen in Gelenklagern durch PVD-Beschichtungen. Teilvorhaben: Abscheidung von Kohlenstoffschichten mit dem kathodischen Arc sowie die Untersuchung ihrer mechanisch und tribologischen Eigenschaften

 
: Eckel, M.

Aul, R. ; VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien, Düsseldorf; Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie -BMBF-, Bonn:
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien 1995
Düsseldorf: VDI Technologiezentrum, 1995
S.565-570
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien <1995, Mainz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Beschichten; Haftfestigkeit; Kohlenstoff; Verschleiß

Abstract
Mit Hilfe einer Bogenentladung auf einem Graphittarget wurden Kohlenstoffschichten abgeschieden. Zur Erzeugung von metallhaltigen Kohlenstoffschichten wurde gleichzeitig ein Metalltarget gesputtert. Untersucht wurde der Einfluß verschiedener Prozeßparameter auf die mechanischen und tribologischen Eigenschaften der Kohlenstoffschichten. Neben der Struktur der Schicht mit dem Rasterelektronenmikroskop wurden die Haftfestigkeit in Abhängigkeit von der Zwischenschicht mit einem Scratch-Tester sowie die Verschleißeigenschaften mit einem Tribo-Tester untersucht.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-38346.html