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1992
Conference Paper
Titel
Verbundprojekt - Diamantbeschichtung komplexer Geometrien. Teilvorhaben - Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung
Abstract
Die Abscheidung polykristalliner Diamantschichten aus aktivierten Gasphasen bietet die Möglichkeit, Hartmetallwerkzeuge mit komplexen Geometrien direkt mit einer extrem harten und verschleißfesten Beschichtung zu versehen. Zur Bewertung des Einflusses der Vorbehandlung auf die Haftung wurden Diamantschichten mit dem Mikrowellenplasma- aktivierten CVD-Verfahren auf mechanisch und chemisch unterschiedlich vorbehandelte Hartmetallsubstrate und Bohrer abgeschieden. Die Untersuchungen zur Hochskalierung des thermisch- aktivierten Heißdraht-CVD-Prozesses erlauben die Auswahl geeigneter Heißdrahtmaterialien und zeigen einen deutlichen Einfluß von Gasdynamik und Gaskinetik auf die Uniformität der auf Flächen bis zu 100 qcm abzuscheidenden Schichten.
Konferenz
Language
German