Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Ventillose Mikropumpe

 
: Richter, A.; Lang, W.; Offereins, H.L.

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DE 1992-4223019 A: 19920713
DE 1992-4223019 A: 19920713
DE 4223019 C1: 19931118
F04B0043
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IZM ()

Abstract
Eine ventillose, mikrominiaturisierbare Pumpe hat eine oszillierende Aktorvorrichtung, die dem zu pumpenden Fluid eine Oszillationsbewegung aufpraegt, und eine anisotrope Struktur, die im Bereich des von der Aktorvorrichtung relativ zu der anisotropen Struktur bewegten Fluids angeordnet ist. Eine derartige ventillose Mikropumpe laesst sich mit an sich bekannten photolithographischen Techniken aus Halbleitermaterialien fertigen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-38198.html