Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit. Prüfzentrum für Halbleiterfertigungsgeräte

 
: Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.

Reinraumtechnik 2 (1989), Nr.6, S.12-15 : Abb.,Lit.
ISSN: 0931-9190
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
automatisierter Meßvorgang; Halbleiterfertigung; Partikelmeßgerät; Partikelmeßmethode; Partikelmessung; Prüfzentrum; Reinigung; Reinraum; Strömungsuntersuchung

Abstract
Es wird das Prüfzentrum für Halbleiterfertigungsgeräte am Fraunhofer-Institut IPA in Stuttgart beschrieben. Es wurde dafür ein Gebäude mit Reinraum höchster Qualität, Medienversorgung und zahlreichen Meßgeräten errichtet. Es werden dort Partikelmessungen auf Oberflächen, in Luft, Gasen und Flüssigkeiten durchgeführt. Sie dienen zur Optimierung von Halbleiterfertigungsmitteln bezüglich Partikelkontamination, zur Entwicklung und Verbesserung von Reinigungsprozessen etc. zusätzlich wurde ein Labor zur Untersuchung von Reinraumströmungen untersucht.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-37835.html