Publica

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Untersuchung mit Synchrotronstrahlung-Mikrolithographie fuer hochintegrierte Halbleiterbauelemente

	Materialprüfung 24 (1982), Nr.6 ISSN: 0025-5300

	Deutsch
	Zeitschriftenaufsatz
	Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
	Höchstintegration; Röntgenstrahlen; Synchrotronstrahlung