Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Untersuchung mit Synchrotronstrahlung-Mikrolithographie fuer hochintegrierte Halbleiterbauelemente

 
: Heuberger, A.

Materialprüfung 24 (1982), Nr.6
ISSN: 0025-5300
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Höchstintegration; Röntgenstrahlen; Synchrotronstrahlung

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-37801.html