Fraunhofer-Gesellschaft

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Analyse Engine

Analysis Engine
 
: Montino, R.; Schäfer, K.; Schmelzle, D.; Suntrup, M.; Kumar, A.P.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Smart Fabrication Verbund CIM 1997 : Zweiter Offener Workshop München, 10./11. Juli 1997
Stuttgart, 1997
S.9-19
Workshop Smart Fabrication <2, 1997, München>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Automatisierung; Datenerfassung; Fehleranalyse; Fertigung; Halbleiter; Partikelmessung; Teilchen; wafer

Abstract
Im Arbeitspaket "AP11 Analyse Engine" arbeiten die beteiligten Firmen an verschiedenen Projekten zur Automatisierung der Datenerfassung mit anschließender Auswertung/Korrelation der Daten. Dabei wird der gesamte Produktionsbereich vom Frontend bis hin zum Wafertest abgedeckt. Im AP11 wurde gemeinsam ein Datenmodell am Beispiel von Partikelmessungen entwickelt. Nach einer kurzen Einführung in das Themengebiet "Analyse Engine" wird auf die notwendigen Erweiterungen aller bereits bestehenden Components des SF CIM Frameworks, die für das Arbeitspaket relevant sind, eingegangen. Der Schwerpunkt des Vortrags liegt auf einer detaillierten Erläuterung der neuen Components, die im AP11 entwickelt wurden. Der gemeinsame Nutzen der beteiligten Firmen und ein kurzer Ausblick bilden den Abschluß des Vortrags.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-3768.html